[SEM]サーマル電界放出形走査電子顕微鏡
カテゴリ:電子顕微鏡および関連機器

機器メーカー | 日本電子株式会社 |
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製品名 | JSM-7600F |
設置年 | 2014 |
キャンパス | 常盤キャンパス |
設置場所 | 先端研究棟103 |
管理部局 |
常盤分室 電話:0836-85-9951 管理者にメール |
仕様
セミインレンズ対物レンズにより、高分解能・高画質を実現しており、0.1~ 3kVの低加速電圧での高分解能観察が可能です。
試料の最表面の観察が可能で、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。
● 二次電子像分解能:1.0nm(15kV)
● 倍率: X25~X1,000,000(120x90mm画像)
● 加速電圧:0.1kV~30kV
● プローブ電流:1pA~200nA
● EDS分析部 (元素分析):Si(Li)検出器、分解能 129eV、検出可能元素 Be~U
※EBSD(結晶方位解析)は測定できません。
利用形態
学内, 学外, 自己測定,
利用料金
・学内:500円/時間
※当該支援をアドバイザーの勤務時間外に実施する場合は2,500円を追加加算
・アカデミック(学外):1,435円/時間
・学外一般: 2,870円/時間
(2024.6.19現在)
詳細・予約ページ(大学連携研究設備ネットワークへ)
依頼測定:お問い合わせください。