カテゴリ：電子顕微鏡および関連機器

機器メーカー	日本電子株式会社
製品名	JIB-4000FIB
設置年	2019
キャンパス	常盤キャンパス
設置場所	先端研究棟102
管理部局	常盤分室 電話：0836-85-9951 管理者にメール

仕様

集束イオンビームによる試料加工装置です。
特定部位のSTEM・TEM試料作製およびSEM観察用の試料断面加工が容易に行えます。
また、断面加工とSIM観察により表層部構造や粒子断面の観察に有効です。

●イオン源：Ga液体金属源
●加速電圧：1～30kV
●倍率：×60（視野探し用）
　　　　×200～×300,000
●像分解能：5nm（30kV時）
●最大ビーム電流：60nA（30kV時）
●ビーム径(電流)：13段階切り替え

利用形態

学内, 学外, 自己測定,

利用料金

・学内：500円/時間（激変緩和措置R8.3月末まで）
・アカデミック（学外）：3,220円/時間
・学外一般： 6,440円/時間
（2025.6.1現在）

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備考