カテゴリ：半導体製造関連装置

機器メーカー	KARL SUSS
製品名	SUSS-MJB3
設置年	1996
キャンパス	常盤キャンパス
設置場所	常盤分室先端研究棟CR104-C
管理部局	常盤分室 電話：0836-85-9951 管理者にメール

仕様

密着露光によって高い解像度の露光が可能です。

●光源：高圧水銀灯（350～450nm）
350W（回折線減少露光光学系）
●マスクサイズ：2.5インチフォトマスク
●試料サイズ：2インチウエハー、3cm角以下（小片対応可）
●密着露光：ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト

利用形態

学内, 学外, 自己測定,

利用料金

・学内： 400円/時間，2,000円/日
・アカデミック（学外）： 400円/時間，2,000円/日
・学外一般：800円/時間， 4,000円/日
（2025.6.1現在）

初回ご利用希望・その他お問い合わせはメールでご連絡ください。
装置紹介　https://ds.cc.yamaguchi-u.ac.jp/~src-tokiwa/

詳細・予約ページ（大学連携研究設備ネットワークへ）

相互利用予約ページ

依頼測定：お問い合わせください。

詳細ページ

備考

※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します