カテゴリ：電子顕微鏡および関連機器

機器メーカー	ELOPNIX
製品名	ELS-7500EX
設置年	2009
キャンパス	常盤キャンパス
設置場所	常盤分室先端研究棟CR104-C
管理部局	常盤分室 電話：0836-85-9951 管理者にメール

仕様

Windows対応のGUIとCADを統合しています。

電子銃エミッタ―：ZrO/W熱電界放出型
加速電圧：20～50kV
最小線幅：10nm
試料サイズ：最大6インチ
重ね合わせ精度：60nm
継ぎ精度：50nm
レーザー干渉計搭載

利用形態

学内, 学外, 自己測定, 依頼測定,

利用料金

・学内：4,000円/日
・アカデミック（学外）：4,000円/日
・学外一般： 8,000/日
※アドバイザーによる機器の利用代行や操作補助が発生する場合，学内・アカデミック機関は1回3,000円，学外の企業等は6,000円を加算
（2024.6.19現在）

初回ご利用希望・その他お問い合わせはメールでご連絡ください。
装置紹介　https://ds.cc.yamaguchi-u.ac.jp/~src-tokiwa/

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備考