カテゴリ：成膜・蒸着・膜厚測定

機器メーカー	J.A.Woollam
製品名	M-2000DI-YK
設置年	2013
キャンパス	常盤キャンパス
設置場所	常盤分室先端研究棟206
管理部局	常盤分室 電話：0836-85-9951 管理者にメール

仕様

薄膜やバルク材料の試料表面からの反射光の偏光状態の変化を測定して、薄膜の膜厚、光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）を求めることができます。

波長範囲：195nm～1685nm
角度範囲：45度～90度
試料サイズ：10mmφ～200mmφ

利用形態

学内, 学外, 自己測定, 依頼測定,

利用料金

・学内： 500円/時間， 2,500円/日
・アカデミック（学外）：500円/時間， 2,500円/日
・学外一般：1,000円/時間， 5,000円/日
※アドバイザーによる機器の利用代行や操作補助が発生する場合，学内・アカデミック機関は1回3,000円，学外の企業等は6,000円を加算
（2024.6.19現在）

初回ご利用希望・その他お問い合わせはメールでご連絡ください。
装置紹介　https://ds.cc.yamaguchi-u.ac.jp/~src-tokiwa/

詳細・予約ページ（大学連携研究設備ネットワークへ）

相互利用予約ページ

依頼測定：お問い合わせください。

詳細ページ

備考

※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します