カテゴリ：半導体製造関連装置

機器メーカー	ネオアーク
製品名	DDB-701-DL
設置年	2019
キャンパス	常盤キャンパス
設置場所	常盤分室先端研究棟CR104-C
管理部局	常盤分室 電話：0836-85-9951 管理者にメール

仕様

2種の対物レンズを保有しており、2倍を選択することにより厚膜レジストの露光も可能です。

●露光用光源：360nmLED
●DMD解像度：1280×800
●露光エリア：25mm×25mm
●最小描画線幅：3µｍ（10倍レンズ）、15µｍ（2倍レンズ）

利用形態

学内, 学外, 自己測定, 依頼測定,

利用料金

・学内：1,000円/時間，5,000/日
・アカデミック（学外）：1,000円/時間，5,000/日
・学外一般： 2,000円/時間，10,000/日
（2024.6.19現在）

詳細・予約ページ（大学連携研究設備ネットワークへ）

相互利用予約ページ

依頼測定：お問い合わせください。

詳細ページ

備考

※2024.9/1～新規利用者の受付を停止します